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七星华创质量流量计

  • 更新时间:  2020-12-11
  • 产品型号:  CS200A
  • 简单描述
  • 七星华创质量流量计CS200H气体质量流量控制是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。
详细介绍
品牌七星华创价格区间5千-1万
产品种类节流式介质分类气体
产地类别国产应用领域医疗卫生,环保,化工,生物产业,能源

CS200H气体质量流量控制是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。

 七星华创质量流量计优势
• 控制器工作温度:90~120℃。
• 高控制精度:产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应,响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• g端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品尺寸符合通用的SEMI标准,RS485,DeviceNet通讯方式。

七星华创质量流量计CS200 H
型号 CS200-H 
阀类型 常闭 无 
流量规格(N2) (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30)  SLM 
准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.) 
线性 ±0.5% F.S. 
重复精度 ±0.2% F.S. 
响应时间 ≤ 1sec 
工作压差范围 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 流量规格>10SLM <0.02 MPa 
下限大工作压力 0.45MPa 
温度系数 零点: ≤±0.1% F.S./℃;调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 
耐压强度 3MPa 
漏率 1×10-11 Pa·m3 / sec He 
密封材料 金属密封 
工作环境温度 质量流量控制器/流量计:(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃ 
输入信号 数字: RS485 或 DeviceNet
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA 无 
输出信号 数字:RS485或 DeviceNet  
模拟:(0~5)VDC或(4~20)mA 
零漂 在没有零点校正时<0.6%F.S./年 
电源 ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) 
表面化学成分 Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃) 
表面粗糙度 10 Ra 
标准接头形式 双卡套φ6;双卡套1/4;VCR1/4阳接头;1.5´´C型密封接头
1.5´´ W型密封接头 
电源接头形式 D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头 
连接高温电缆 2m 
重量 1.2Kg 1Kg 

 


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