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七星华创DS系列质量流量控制器

  • 更新时间:  2020-10-22
  • 产品型号:  DS300
  • 简单描述
  • 七星华创DS系列质量流量控制器
    DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器,用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小,精度高,响应速度快,压力不敏感的特点,产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。
详细介绍
品牌七星华创价格区间5千-1万
产品种类质量式介质分类气体
产地类别国产应用领域化工,生物产业,石油,能源,航天

七星华创DS系列质量流量控制器
DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器,用于半导体器件的刻蚀、溅射等工艺。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小,精度高,响应速度快,压力不敏感的特点,产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,金属表面状况符合SEMI标准的要求。

 七星华创DS系列质量流量控制器优势
• 控制精度高,精度可达±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 响应速度快,响应时间≤ 0.5sec。
• 采用基于压力原理的流量传感器技术,使产品具有压力不敏感特性,能够适用较大的气源压力波动。
• DS300采用有效的机械加工技术与表面处理技术解决深小孔不能或者很难电抛光(EP)的难题,实现孔径相对较小(孔径<1mm)、深径比相对较大(>10)的不锈钢小孔、深盲孔以及交叉孔的表面电化学抛光处理,完全符合SEMI标准要求。

 质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截 止阀。特别是用户如果使用腐蚀性气体, 通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截 止阀, 以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在 2%F.S.以内, 是属于正常 情况。如果漏气大于满量程的 2%, 则应进行维修。


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