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世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀

  • 更新时间:  2020-11-02
  • 产品型号:  6LVV-ALD3FR4-P-C
  • 简单描述
  • 世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀
    ALD20 UHP 阀门是世伟洛克 ALD 产品系列的新成员。正在申请利的设计允许利用具有挑战性的低蒸汽压前体。ALD20 采用超高纯波纹管,因此与其他 ALD 阀相比,可促进清洁操作并具有更高的流量。
    此外,ALD20 阀可以完全热浸在气箱中,并可以从 50°F (10°C) 加热到 392°F (200°C)。
详细介绍
品牌Swagelok/美国世伟洛克应用领域环保,化工,生物产业,石油,能源

世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀 

 ALD20 UHP 阀门是世伟洛克 ALD 产品系列的新成员。正在申请利的设计允许利用具有挑战性的低蒸汽压前体。ALD20 采用超高纯波纹管,因此与其他 ALD 阀相比,可促进清洁操作并具有更高的流量。
此外,ALD20 阀可以完全热浸在气箱中,并可以从 50°F (10°C) 加热到 392°F (200°C)。
规格
工作压力 真空 20 psig (1.4 bar) 
爆裂压力 >3200 psig (220 bar) 
执行压力 70 90 psig(4.8 6.2 bar) 
温度 50° 392°F(10° 200°C) 
流量系数 (Cv) 1.2 (MSM) 或 1.7(直通型) 
阀体材料 316L VIM-VAR 或合金 22 
波纹管材料 合金 22(5 μin.Ra 表面粗糙度) 
端接 

世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀 
类型(尺寸) 内螺纹 VCR 接头 (1/2 in.) 
可旋转外螺纹 VCR 接头 (1/2 in.) 
卡套管对焊,长 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.) 
模块化表面安装高流量 C 型密封 (1.5 in.) 

 

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