品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 5千-1万 |
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产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,生物产业,能源,航天 |
布鲁克斯高精度质量流量计 来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了的性能,具有多种选择,允许较大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。
布鲁克斯高精度质量流量计特点
准确和可重复的过程控制:这是半导体和电子制造业的根本驱动因素。由于每代工具、工艺和节点都具有连续性,已经开发出来并得以部署,所以半导体流量和压力计的极高和超高性能要求以及对不断创新和改进的需求,在现在乃将来都不会停止。
Brooks Instrument 按这些要求提供本行业的流量、压力、真空和蒸汽输送解决方案。我们的半导体产品组合包涵了我们创造众多突破性测量和控制设备的数十年经验,这些设备现已成为本行业各层次工艺设备的标准部件。
您选择 Brooks Instrument 半导体产品,即选择了我们的独到见解和资源,只有我们才能利用这些处理 FEOL 和 BEOL 的基本流程并迎接产量方面的挑战:
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