七星华创气体质量流量计CS系列 CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。
SEVENSTAR七星华创流量计 CS230质量流量控制器&流量计 CS230产品是七星流量计研发的中大流量产品,上限流量可达300SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,下限多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差小化,流量更加j准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持DeviceNet,RS485通讯协议。
七星华创CS100C质量流量计 CS100产品是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其独c的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
七星华创CS200A气体质量流量控制器 真空行业 真空镀膜系统内工艺反应气体和净化气体都需要快速响应和精下限控制。SEVENSTAR提供的质量流量控制器产品在满足真空行业的技术要求的同时,为客户提供成本优化的解决方案,产品已经广泛应用在各类单机设备及LOW-E、ITO连读镀膜生产线上。
七星华创CS200C经济型国产流量计 半导体行业SEVENSTAR提供多款高性能、高精度、快速响应的气体质量流量控制器以满足半导体行业客户对工艺标准控制的需求。产品应用的设备包括晶体生长炉、氧化扩散炉、PECVD设备、MOCVD设备、PVD设备、刻蚀设备、清洗设备、光刻设备和晶圆传送装备等。同时产品提供多种通讯方式满足客户需求,包括模拟式、数字式、DeviceNet
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